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技术优点:
基于MEMS技术
极其紧凑的尺寸
高精度
快速响应时间
多种气体/多量程
模块化
极佳的长期稳定性
主要应用:
分析仪器
气相色谱仪
泄漏检测
单一或者多种气体的计量和控制
标定和质量控制
薄膜工艺控制